アトーテックは真空ポンプをはじめとし、超微粒子・ナノ粒子製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。
超微粒子・ナノ粒子製造装置
破面蒸着保護膜形成装置
電子ビーム真空蒸着装置
真空熱処理炉
プレス付真空熱処理装置
真空拡散接合装置
アーク溶解炉
超伝導線材製造装置
油圧引張圧縮試験機
双頭型真空含浸装置
陽極接合装置
インク含浸装置
ゴールドファーネス
電気炉
水素炉
炭素クラスター合成装置
その他各種真空装置
真空ポンプ
高真空排気装置
真空計
真空バルブ
真空部品
ソーラーミニ風車
■陽極接合装置
仕様
・加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能
・研究、開発に適したコンパクト&エコノミータイプ
・アライメント部は小型設計の卓上型
・試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能
用途
・各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途