アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

真空ポンプ

使用時の条件、及び目的に合わせたポンプ選びにお役立て下さい。

1.『油回転真空ポンプの選定』

真空ポンプといわれているものは17種類もあり、組合せは必要真空度(圧力)により異なります。
お客様に提示させていただく資料として、油回転真空ポンプの選定方法を表にしたものもございますが、これは大体の目安です。
実際の場合には、真空に引く容量・時間・到達圧力・配管径及び長さ・品物(放出ガス)などの問題等も検討しなければなりませんので、お問合せいただければ、商品知識の高いスタッフが責任をもって選定致します。

『真空ポンプの選び方』についての参考本を4冊記述しますので、参考にしてください。

*改訂真空技術 石井 博 著 計量管理協会編 (株)コロナ社
*初歩から学ぶ真空技術 真空工業会編 工業調査会
*とことんやさし真空の本 麻蒔 立男 著 日刊工業新聞社
*真空ハンドブック(新版) (株)アルバックコーポレートセンター

2.『真空度(圧力)が悪くても使用できる水封式真空ポンプの選定』

比較的圧力が高く、水蒸気や水滴を含んだ気体・引火性ガスや腐食性ガスの排気が可能なポンプとして水封式真空ポンプがあります。
到達圧力は、5.3×103Pa(40Torr)~8.2×102(6Torr)(空気ゼクター付)があります。

アトーテック株式会社『水封式真空ポンプLEHLEM型』の特徴
・水蒸気や水滴をふくんだ気体の排気に最適である。
・引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。
・摩擦部分が少なく故障がないので、連続運転に耐えられる。
・低騒音でかつ振動が少ない。
・連続排気で脈動がない。

3.『使用目的に応じたポンプの選び方』

真空度(圧力)が悪いところでも使用でき、また良いところでも使用できるポンプをご紹介します。

ドイツのリーチェリー社製でブロアーから油使用まで、広範囲なラインナップ。
*写真製版・ラベリング機械用→ドライニングタイプVTE型/到達圧力113Torr
*印刷機械・包装紙用→VLT型
*吸着・搬送用→VFT型
*真空成形・吸着・搬送用(オイル循環タイプ)→VCE・VCEH型/到達圧力0.5Torr
*真空成形・吸着・搬送ラインのセントラルシステム用→CLFEH型/到達圧力8Torr
*食品包装ラインのセントラルシステム用→CLFH型/到達圧力0.5Torr

またリーチェリーの油回転ポンプは真空度の悪い所で使用しても、オイルエリミネーター内蔵されていて普通のロータリーポンプの様に煙が出ない構造にとなっています。
次にアンレット製のポンプですが、リーチェリーと大体同様の使用目的ですが、中形から大型のポンプが特長で組合せによって真空度が良いものもあります。
カタログを掲載しますので、参考にしてください。
間違って買わないためにも、よりお客様の条件にあう真空ポンプをお選びいただくためにもアトーテックに是非ご相談下さい。

【低騒音・低振動】
精密加工と加工精度の向上により低騒音、低振動を実現しました。

【ガスバラストバルブ付】
ガスバラストバルブを標準装備していますので、水蒸気・凝縮性ガス等を効果的に除去します。

【オイル逆流防止機構付】
オイル逆流防止機構内蔵により不慮のポンプ停止時でもオイルの逆流を防止し、チャンバー・配管の油による汚損を防ぎます。

【小型軽量】
ダイレクトドライブを採用していますので小型軽量を実現しました。

どんな質問にもポンプに詳しいスタッフが責任をもって対応致します。

BECKERロータリーベーン式ドライポンプ

BECKERカタログのPDFデータはこちら

◎サービス体制
リーチェリエヌアイ株式会社はポンプ・パーツの在庫を行い即納体制を取っております。またポンプの修理に関しましても万全を期しております。 真空ポンプの御用命は上記アトーテック迄お申し付け下さい。
■耐久性に優れたコンパクト設計
長時間連続運転可能な空冷構造
低振動・低騒音

オイル循環式
特殊な多段オイル補集システム採用の為、完璧なオイル補集率(99.999%)達成。
オイルリターン回路採用により長時間連続運転が可能。

ドライロータリーベーン式
オイルフリーでメンテナンスが容易。
軽量コンパクト設計。
排気速度500M3/Hr迄をカバーする幅広い機種。
常用真空度113Torrと可能にした高性能設計

■直結形油回転真空ポンプ


 

ベルト式真空ポンプ

■油量が多くてコンタミに強い

 

アンレット製
■大型真空ポンプ

■ターボ分子ポンプシリーズ

姿勢自在形 複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)
・グリス潤滑形で50~2400L/sまでラインナップ。
・取付姿勢が全方位自在で、使用が簡単。
・メンテナンスフリー。※オーバーホールサイクル2~3万時間
・丈夫でコンパクトな設計で、かつ軽量。
・大気突入に対応した機構や、急速リーク停止が可能な機種もラインナップ。

 

磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)/フルデジタルタイプ
・300~2400L/sまでラインナップ。
・フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減。
・モデルカップリングフリーだから、シリーズ全機種が同一のコントローラーで運転可能。
※オートキャリブレーション(センサ自動調整)
・回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能。
・特別仕様として断熱構造仕様もあり、反応生成物が堆積するようなプロセスでも長時間使用可能。

磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)
・2000~3400L/sクラスで、標準形に加え、大流量タイプもラインナップ。
(ケミカル形あり)
・極高真空仕様のTG1121Mもラインナップ。
・特別仕様として断熱構造仕様もあり、
反応生成物が堆積するようなプロセスでも長時間使用可能。

 

 

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