アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

炭素クラスター合成装置

■研究・開発に適した小型エコノミータイプ
■金属内包フラーレンやカーボンナノチューブの合成も可能
■ワーク連続供給機構付
■カソード成長防止機構付
■小型設計、スーツ回収、取付が容易
■クリーニングは1回のみで簡単
■オプション 磁場によるアーク方位変更が可能

  

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