アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。
■研究・開発に適した小型エコノミータイプ ■金属内包フラーレンやカーボンナノチューブの合成も可能 ■ワーク連続供給機構付 ■カソード成長防止機構付 ■小型設計、スーツ回収、取付が容易 ■クリーニングは1回のみで簡単 ■オプション 磁場によるアーク方位変更が可能