■電子顕微鏡関連　電子顕微鏡試料ホルダー保存装置

仕様
ホルダー保存用マニホールド　６ヶ
到達圧力　×10^-8Torr
排気系　ターボ分子ポンプ(200L／sec　50Hz　N2)
ロータリーポンプ(165L／min)
ゲート弁、補助弁
電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付

■電子顕微鏡関連　UHV電子顕微鏡用静電偏向型電子銃

静電変更型電子銃蒸発源
電子銃容量　20W
フィラメント電流：DC10A
エミッション電流：max50mA
シュラウド水冷用(2L／min)
蒸着材寸法　φ1mm×50mm
Ｚ軸可動範囲　６インチ
取付フランジＩＣＦ７０
シャッター機構付(手動式)
シャッター孔径　φ7

■ガス量測定装置

■簡易的なガス定量分析に最適
■簡単操作で高信頼性
■コンパクトでエコノミー
■特許申請中