アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

その他各種真空装置

■電子顕微鏡関連 電子顕微鏡試料ホルダー保存装置

仕様
ホルダー保存用マニホールド 6ヶ
到達圧力 ×10-8Torr
排気系 ターボ分子ポンプ(200L/sec 50Hz N2)
ロータリーポンプ(165L/min)
ゲート弁、補助弁
電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付

■電子顕微鏡関連 UHV電子顕微鏡用静電偏向型電子銃

静電変更型電子銃蒸発源
電子銃容量 20W
フィラメント電流:DC10A
エミッション電流:max50mA
シュラウド水冷用(2L/min)
蒸着材寸法 φ1mm×50mm
Z軸可動範囲 6インチ
取付フランジICF70
シャッター機構付(手動式)
シャッター孔径 φ7

■ガス量測定装置

■簡易的なガス定量分析に最適
■簡単操作で高信頼性
■コンパクトでエコノミー
■特許申請中

  

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