アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

陽極接合装置

■陽極接合装置

仕様
・加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能
・研究、開発に適したコンパクト&エコノミータイプ
・アライメント部は小型設計の卓上型
・試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能

用途
・各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途

 

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