真空熱処理炉ならアトーテック

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■真空機器 プレス付真空熱処理炉

仕様
加熱温度 常用600℃
ヒーター モリブデン抵抗体
有効寸法 φ150×170L
均熱部 φ130×100L±10℃(ノンプレスVaC中)
温度制御 デジタルプログラムPID方式
記録計 6打点 100?巾
加圧力 全圧0.4~2TON
ミニシリンダー切換(0.035~0.2TON)
加圧ストローク 40mm
到達圧力 ×10-6Torr(空状,常温)
排気系 油拡散ポンプDPF-3吋  油回転ポンプ200L/min
真空計 ピラニー、電離真空計、連成計
ユーティリティー 電気AC200V 3φ9KVA50HZ
冷却水10/min以上 2kgf/cm2G 25℃以下
不活性ガス高純度ガス(99.99%以上)

■真空機器 超高温熱処理炉1

仕様
max Temp 2000℃
均熱帯φ20×50H
到達圧力 5×10-6Pa
TMP 1300L/s,280L/s
RP 650L/min,140L/min
MB 50m3/hr
ガス急冷機構付

■真空機器 超高温熱処理炉2

仕様
max Temp 2000℃
均熱帯 50φ×150H
到達圧力 5×10-6Pa
TMP 1800L/s,60L/s
RP 500L/min,90L/min
ガス急冷機構付

■超高真空脱ガス炉

概要
ハロゲンランプ等の電極の充填、脱ガス等、真空熱処理を行う炉です。
高真空のため排気系としてはターボ分子ポンプを使用しております。

仕様
到達圧力: 5X10-6Pa
常用圧力: X10-4Pa
最高加熱温度:2400℃
常用加熱温度:2000℃
高周波電源:40KW
均熱帯:φ30x30H(2000℃±2%)

■真空機器 多目的高温炉

仕様
温度:常用2200℃ 最高2300℃ 真空中最高2200℃
昇温時間:常温~2200℃ 60分
真空度:到達5×10-5Torr
試料ケース:焼結用φ150×φ130×120H
モールド:ホットプレス用 φ60×120H 等方性黒鉛製
圧力:雰囲気加圧9.5kg/cm2 ホットプレス総圧 10TON
温度調節:熱電対、単色温度検出デジタル プログラムPID調節
記録:3PEN記録計(温度、プレス圧、試料厚変位)
加熱:黒鉛製抵抗発熱体加熱 40KW
冷却水:50L/min 2~4KG/cm2 32℃以下

■真空機器 金属線材連続熱処理炉

仕様
真空チャンパー 600W×200D×650H
到達圧力 8×10-3Pa
線材径0.5φ~0.9φ×5m
線材送り速度0.01m~1.5m/sec
加熱方式 直接通電
max Temp 2000℃
Gaバスへ急冷却方式

■真空機器 金属試料2段温度熱処理炉

仕様
一段炉 max Temp 1000℃(透明電気炉)A型
二段炉 max Temp 1200℃ 均熱帯40×80(赤外線ゴールドイメージ炉)
到達圧力 ×10-5Pa
TMP 160L/sec
RP 162L/min
温調計、記録計、ピラニー、電離真空計

■超伝導関連 磁場中熱処理装置

概要
本装置は超伝導マグネットと組合せ強磁場中(20T)に於いて真空、高温で金属材料の熱処理試験を行う目的にて開発された装置であります。
電気炉は強磁場の影響を受けない構造が特長になっており、外筒の温度は40℃以下です。

仕様
1.最高加熱温度 max 1100℃ 10φ×30L
2.電気炉外筒(SUS304)
1)OD95φ×312L 外筒内水冷、真空断熱層
2)上部超ストロークベローズ、真空室(電極、引口付)
3)下部試料交換用ICFフランジ付
3.ヒーター(Ta) 無誘導巻き21φ×94L
4.反射板(Ta、Mo) 24φ×31φ×98φ
5.架台(SUS304) 1330W×1460D×1820H

チャンバー加工例

その他真空角チャンバー加工例