アトーテックは真空ポンプをはじめとし、ナノ粒子(超微粒子)製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

破面蒸着保護膜形成装置

破面蒸着保護膜形成装置

本装置は各種金属、合金材料などを極高真空中(X10-9Pa)で低温(~100K)にして機械的衝撃により破断させた後直ぐに破面にNi等の真空蒸着を行う為に開発された装置です。これに、材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護することが出来るため3次元アトムプロープ観察等による破面の各種分析を行う事ができます。

構成
1. メインチャンバー
2. 試料交換室
3. 真空排気系
RP(150L/min)、TMP(550L/sec、60L/sec)
ゲード弁(CF203、CF152)アクターポンプ(ULVAC)
(PST-200AXII型N20.2m3/s)
4. 極高真空計 AXTRAN(ULVAC)(10-11Pa台)
5. Kセルタイプ蒸発源


 

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